A.掩膜版B.對準和曝光C.光刻機D.光刻膠
A.堿溶液清洗B.有機溶液清洗C.HF結(jié)尾的清洗工藝D.去離子水沖洗
A.光刻膠B.Si襯底C.刻蝕氣體中的碳和其它物質(zhì)組成的化合物D.刻蝕溶液
