問答題簡述1990年代CMOS工藝技術特征:特征尺寸、晶圓尺寸、襯底、隔離、源漏、柵極材料、光刻光源、曝光方式(光刻機)、刻蝕、互連材料及方式等。
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最新試題
當許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層,開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為()。
題型:單項選擇題
如下哪個選項不是半導體器件制備過程中的主要污染物?()
題型:單項選擇題
下面哪道工序主要是針對晶圓切割之后在顯微鏡下進行晶圓r的外觀檢查,是否有出現(xiàn)廢品?()
題型:單項選擇題
注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關?()
題型:單項選擇題
厚膜電阻的成分,一是導體顆粒,二是()。
題型:單項選擇題
濕氧氧化采用的氧化水溫是()。
題型:單項選擇題
下面哪些元素屬于半徑較小的雜質原子?()
題型:多項選擇題
芯片粘接的工藝過程包括()。
題型:多項選擇題
光刻工藝的特點包括()。
題型:多項選擇題
硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項?()
題型:單項選擇題