因為Cu的互連線電阻率低,介質(zhì)層介電常數(shù)小。 多層互連對VLSI的意義:1提高集成度;2降低互連延遲3降低成本
最新試題
如下哪個選項不是半導(dǎo)體器件制備過程中的主要污染物?()
硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項?()
硅暴露在空氣中,在室溫下即可產(chǎn)生二氧化硅層,厚度約為()。
IC集成度和性能得以不斷提高的理論基礎(chǔ)是()。
影響封裝芯片特性的溫度有()。
CE定律發(fā)展面臨的問題包括()。
進行光刻工藝前的清洗步驟是()。
CMP的設(shè)備構(gòu)成包括()。
光刻工藝對準誤差包括()。
封裝工藝中,銀漿固化的溫度為()。