判斷題擴(kuò)散只用于淺結(jié)的制備
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2.單項(xiàng)選擇題離子注入與熱擴(kuò)散相比,哪個(gè)橫向效應(yīng)小()
A. 離子注入
B. 熱擴(kuò)散
3.單項(xiàng)選擇題
二氧化硅膜能有效的對(duì)擴(kuò)散雜質(zhì)起掩蔽作用的基本條件有哪些()
①雜質(zhì)在硅中的擴(kuò)散系數(shù)大于在二氧化硅中的擴(kuò)散系數(shù)
②雜質(zhì)在硅中的擴(kuò)散系數(shù)小于在二氧化硅中的擴(kuò)散系數(shù)
③二氧化硅的厚度大于雜質(zhì)在二氧化硅中的擴(kuò)散深度
④二氧化硅的厚度小于雜質(zhì)在二氧化硅中的擴(kuò)散深度
A.②④
B.①③
C.①④
D.②③
4.單項(xiàng)選擇題在溫度相同的情況下,制備相同厚度的氧化層,分別用干氧,濕氧和水汽氧化,哪個(gè)需要的時(shí)間最長(zhǎng)?()
A.干氧
B.濕氧
C.水汽氧化
5.名詞解釋歐姆接觸
最新試題
互連工藝中AL的制備可選用()。
題型:多項(xiàng)選擇題
進(jìn)行光刻工藝前的清洗步驟是()。
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金屬化中可選用的金屬材料有()。
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CE定律發(fā)展面臨的問(wèn)題包括()。
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摻雜后退火時(shí)間一般在()。
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題型:判斷題
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