電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）

環(huán)境溫度的變化可影響硅片的涂膠均勻性，通常將環(huán)境溫度設(shè)定于（）。

以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）

分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗時發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時，判斷其造成原因有（）

鋁的電遷移可能導(dǎo)致的結(jié)果是（）

通常鉭、鈷、鎳等難溶金屬應(yīng)用于（）

通過分析刻蝕前后刻蝕腔內(nèi)的成分來判斷是否達(dá)到終點的終點檢測方法是（）

根據(jù)曝光模式，光制機(jī)的種類分為（）。

試說明ICT測試電阻器阻值的原理？為什么要加隔離點？

下列哪些是進(jìn)行光刻前的預(yù)處理的步驟？（）