下面哪些元素屬于半徑較小的雜質原子？（）

消除鳥嘴效應的方法有（）。

刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結合來實現(xiàn)圖形的轉移？（）

下面哪道工序主要是針對晶圓切割之后在顯微鏡下進行晶圓r的外觀檢查，是否有出現(xiàn)廢品？（）

新的平坦化方法有哪幾個？（）

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

互連工藝中AL的制備可選用（）。

進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

摻雜后，退火的目的是（）。

進行光刻工藝前的清洗步驟是（）。