硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項(xiàng)？（）

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

化學(xué)機(jī)械拋光液的主要成分不包括的是哪個(gè)？（）

摻雜后，退火的目的是（）。

摻雜后退火時(shí)間一般在（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個(gè)參數(shù)無關(guān)？（）

目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種？（）

下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。