判斷題熱擴(kuò)散中的橫向擴(kuò)散通常是縱向結(jié)深的75%~85%。先進(jìn)的MOS電路不希望發(fā)生橫向擴(kuò)散,因為它會導(dǎo)致溝道長度的減小,影響器件的集成度和性能。
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