集成電路制造工藝員（三級）單項選擇題每日一練(2019.01.20)

來源：考試資料網(wǎng)

1 當(dāng)熱氧化的最初階段，（）為限制反應(yīng)速率的主要原因。

2 Torr是指（）的單位。

3 采用熱氧化方法制備的二氧化硅從結(jié)構(gòu)上看是（）的。

4 買來的新樹脂往往是Na型或Cl型，新樹脂使用前必須分別用酸（陽樹脂），堿（陰樹脂）浸泡約（）個小時，把Na型或Cl型轉(zhuǎn)換成H型或OH型。

5 請在下列選項中選出多晶硅化金屬的英文簡稱：（）。