依照如圖,對硅片制造廠的六個(gè)分區(qū)分別做一個(gè)簡短的描述,要求寫出分區(qū)的主要功能、主要設(shè)備以及顯著特點(diǎn)。
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你可能感興趣的試題
A.氧化層厚度;
B.溝道中摻雜濃度;
C.金屬半導(dǎo)體功函數(shù);
D.氧化層電荷。
A. 電活性
B. 晶格損傷
C. 橫向效應(yīng)
D. 溝道效應(yīng)
A. 激活雜質(zhì)后
B. 一種物質(zhì)在另一種物質(zhì)中的運(yùn)動
C. 預(yù)淀積
D. 高溫多步退火
A. 有選擇地形成被刻蝕圖形的側(cè)壁形狀
B. 在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形
C. 變成刻蝕介質(zhì)以形成一個(gè)凹槽
D. 在大于3微米的情況下,混合發(fā)生化學(xué)作用與物理作用
A.增大光源波長;
B.減小光源波長;
C.減小光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑;
D.增大光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑。
最新試題
鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有()。
硅暴露在空氣中,在室溫下即可產(chǎn)生二氧化硅層,厚度約為()。
下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子?()
刻蝕工藝可以和以下哪個(gè)工藝結(jié)合來實(shí)現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移?()
摻雜后退火時(shí)間一般在()。
注入損傷與注入離子的以下哪個(gè)參數(shù)無關(guān)?()
三光檢查主要是檢查芯片粘貼和引線焊接之后有無各種廢品。
進(jìn)行光刻工藝前的清洗步驟是()。
下面哪個(gè)選項(xiàng)不是集成電路工藝用化學(xué)氣體質(zhì)量的指標(biāo)?()
影響封裝芯片特性的溫度有()。