光刻工藝的特點包括（）。

碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項？（）

常壓的硅外延方法有（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)？（）

影響封裝芯片特性的溫度有（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。