問答題簡述立式爐系統(tǒng)的五部分。
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1.問答題壓力對氧化物生長的影響是什么？
2.問答題解釋晶體晶向?qū)ρ趸锷L的影響。
3.問答題摻雜對氧化物生長的影響是什么？
4.問答題舉出氧化工藝中摻氯的兩個優(yōu)點。
最新試題
光刻工藝對準(zhǔn)誤差包括（）。
題型：多項選擇題
摻雜后退火時間一般在（）。
題型：單項選擇題
下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）
題型：多項選擇題
金屬化中可選用的金屬材料有（）。
題型：多項選擇題
消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。
題型：多項選擇題
注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)？（）
題型：單項選擇題
當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。
題型：單項選擇題
進(jìn)行光刻工藝前的清洗步驟是（）。
題型：單項選擇題
光刻工藝的特點包括（）。
題型：多項選擇題
CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。
題型：多項選擇題