如下哪個選項不是半導(dǎo)體器件制備過程中的主要污染物？（）

光刻工藝的特點包括（）。

摻雜后，退火的目的是（）。

摻雜后退火時間一般在（）。

刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結(jié)合來實現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移？（）

互連工藝中AL的制備可選用（）。

當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種？（）

下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

金屬化中可選用的金屬材料有（）。