填空題?熱氧化工藝本質(zhì)上是在硅與二氧化硅（）發(fā)生的硅的氧化反應(yīng)。
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2.多項選擇題關(guān)于鋁膜下列哪種說法正確？（）
A.耐腐蝕性好
B.與硅接觸可能出現(xiàn)尖楔現(xiàn)象
C.抗電遷移性差
D.穩(wěn)定性好
3.多項選擇題
看圖判斷，下列哪種描述正確？（）
A.圖（b）是注入的低能離子
B.圖（b）是注入的高能離子
C.圖（a）是注入的低能離子
D.圖（a）是注入的高能離子
4.多項選擇題擴散系數(shù)是表征擴散快慢的參數(shù)，它相當于單位濃度梯度時的擴散通量，所以它（）
A.單位為m2/s
B.有單位
C.無單位
D.單位為m/s
5.多項選擇題?P在兩歩擴散工藝中，第二步再分布的同時又進行了熱氧化（kp=10），這會給再分布擴散帶來哪些影響？（）
A.P擴散速度加快
B.擴入Si的P總量下降
C.在SiO2/Si界面Si一側(cè)的P耗竭（是指低于SiO2一側(cè)）
D.在SiO2/Si界面Si一側(cè)的P堆積（是指高于SiO2一側(cè)）