多項選擇題RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

A.放電不穩(wěn)定
B.匹配不穩(wěn)定
C.Pr 殘存
D.成膜慢


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1.多項選擇題下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源

2.多項選擇題下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列

3.多項選擇題EnDpointDeteCtion 方法有（）。

A.原子分子發(fā)射光譜
B.吸收光譜
C.光干涉
D.目視觀察

4.多項選擇題檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

A.電離氣體分子
B.接受氣體離子
C.給電離子加速
D.測試氣體離子

5.多項選擇題分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

A.部品（配線和線架）可削減
B.配線整理作業(yè)可削減
C.指定配線等的管理工數(shù)部品在庫數(shù)可削減
D.不只是設(shè)備側(cè)的遠(yuǎn)程控制、也可進(jìn)行本地操作