多項選擇題下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。

A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源


您可能感興趣的試卷

你可能感興趣的試題

1.多項選擇題下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列

2.多項選擇題EnDpointDeteCtion 方法有（）。

A.原子分子發(fā)射光譜
B.吸收光譜
C.光干涉
D.目視觀察

3.多項選擇題檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

A.電離氣體分子
B.接受氣體離子
C.給電離子加速
D.測試氣體離子

4.多項選擇題分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

A.部品（配線和線架）可削減
B.配線整理作業(yè)可削減
C.指定配線等的管理工數部品在庫數可削減
D.不只是設備側的遠程控制、也可進行本地操作

5.多項選擇題UTM300B 泵的特點是什么（）？

A.按裝方向自由
B.控制器和泵體集成化
C.高壓縮比高背壓
D.采用磁浮軸承