多項選擇題對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

A.抑制異常放電
B.正常放電恢復速度
C.使用壽命
D.維修速度


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1.多項選擇題應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

A.靶材
B.納米金屬墨水
C.不銹鋼真空室
D.玻璃觀察窗

2.多項選擇題使用氦氣檢漏的原因是（）。

A.體積小
B.惰性氣體
C.無污染
D.容易驅(qū)散

3.多項選擇題UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

A.可調(diào)整排氣速度
B.可調(diào)節(jié)腔體真空度
C.無需流量調(diào)節(jié)閥
D.降低故障風險

4.多項選擇題油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

A.構(gòu)造簡單、故障少
B.價格低廉
C.低振動低噪音
D.可高速運轉(zhuǎn)

5.多項選擇題離子濺射泵的特點是什么（）？

A.無機械運動部分
B.無振動
C.無需再生
D.無噪音