多項選擇題RF 電源適用的設(shè)備是（）。

A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning


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1.多項選擇題RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時會發(fā)生哪些異常（）？

A.放電不穩(wěn)定
B.匹配不穩(wěn)定
C.Pr 殘存
D.成膜慢

2.多項選擇題下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源

3.多項選擇題下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列

4.多項選擇題EnDpointDeteCtion 方法有（）。

A.原子分子發(fā)射光譜
B.吸收光譜
C.光干涉
D.目視觀察

5.多項選擇題檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

A.電離氣體分子
B.接受氣體離子
C.給電離子加速
D.測試氣體離子