多項選擇題

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning

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多項選擇題

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

A.放電不穩(wěn)定
B.匹配不穩(wěn)定
C.Pr 殘存
D.成膜慢

多項選擇題

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源

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