問(wèn)答題列舉離子注入設(shè)備的5個(gè)主要子系統(tǒng)。
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1.問(wèn)答題離子注入的主要缺點(diǎn)是什么?如何克服?
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3.問(wèn)答題離子注入通常在什么工藝之后?
4.問(wèn)答題列舉用于硅片制造的5種常用摻雜。
5.問(wèn)答題列出并闡述刻蝕多晶硅的三個(gè)步驟。
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