分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗(yàn)時(shí)發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時(shí)，判斷其造成原因有（）

利用高溫驅(qū)動(dòng)雜質(zhì)滲透進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)，此工序采用的設(shè)備是（）

一般情況下，刻蝕完成后需要進(jìn)行的操作是（）

以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）

下列哪些是進(jìn)行光刻前的預(yù)處理的步驟？（）

堅(jiān)膜烘焙在加熱平板上進(jìn)行，溫度控制在（）。

離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

當(dāng)需要刻蝕的圖形尺寸大于3um時(shí)，一般使用（）。

通常鉭、鈷、鎳等難溶金屬應(yīng)用于（）

最常用的砷化橡的濕法刻蝕腐蝕液包括（）