填空題常規(guī)平面工藝擴散工序中的恒定表面源擴散過程中，雜質(zhì)在體內(nèi)滿足（）函數(shù)分布。常規(guī)平面工藝擴散工序中的有限表面源擴散過程中，雜質(zhì)在體內(nèi)滿足（）函數(shù)分布。
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