填空題

在SiO₂內(nèi)和Si-SiO₂界面存在有（）、（）、（）、（）等電荷。

答案：可動離子電荷；氧化層固定電荷；界面陷阱電荷；氧化層陷阱

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熱氧化制備SiO₂的方法可分為四種，包括（）、（）、（）、（）。

答案：干氧氧化；水蒸汽氧化；濕氧氧化；氫氧合成氧化

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