填空題

熱氧化制備SiO2的方法可分為四種，包括（）、（）、（）、（）。

答案： 干氧氧化；水蒸汽氧化；濕氧氧化；氫氧合成氧化
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填空題

常規(guī)的硅材料拋光方式有：（）拋光，（）拋光，（）拋光等。
答案： 機(jī)械；化學(xué)；機(jī)械化學(xué)
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