下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

工業(yè)機(jī)器人對安裝環(huán)境的要求有（）。

套簡滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

當(dāng)機(jī)器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。