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微電子學(xué)填空題每日一練(2020.04.19)
填空題
半導(dǎo)體集成電路是采用半導(dǎo)體工藝技術(shù)，在硅基片上制作包括電阻、電容、（）、晶體管等元器件并具有某種電路功能的集成電路。
答案：
二極管
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填空題
根據(jù)不同的擊穿機(jī)理，PN結(jié)擊穿主要分為（）和隧道擊穿這兩種電擊穿。
答案：
雪崩擊穿
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填空題
PN結(jié)總的電容應(yīng)該包括勢壘電容和（）之和。
答案：
擴(kuò)散電容
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填空題
光刻膠的三種主要成分是：（）。正膠的感光劑是（），曝光使其（），正膠的曝光區(qū)在顯影后（）； 曝光使負(fù)膠的感光劑（），使曝光區(qū)在顯影后（）。
答案：
感光劑、基體材料和溶劑；重氮醌；長鏈分子斷裂；去除；交聯(lián)；保留
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填空題
離子注入機(jī)的對Si襯底作P型摻雜的源氣常用（），N型摻雜的源氣常用（）和（）。對GaAs做N型摻雜的源氣常用（）
答案：
BF
3
；PH
5
；AsH
5
；SiH
4
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