常壓化學(xué)氣相淀積(APCVD., 低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD., 等離子體輔助CVD。
晶體機(jī)構(gòu)中質(zhì)點排列的某種不規(guī)則性或不完善性。又稱晶格缺陷。