RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見(jiàn)故障有（）。

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

弧焊機(jī)器人的焊接設(shè)備主要是由（）組成。

從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。

（）又稱(chēng)“島式加工單元”。

工業(yè)機(jī)器人對(duì)安裝環(huán)境的要求有（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性?xún)?nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。