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問答題
【簡(jiǎn)答題】在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么?
答案:
一、將掩膜版圖案轉(zhuǎn)移到硅片表面頂層的光刻膠中
二、在后續(xù)工藝中,保護(hù)下面的材料
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【簡(jiǎn)答題】例出光刻的8個(gè)步驟,并對(duì)每一步做出簡(jiǎn)要解釋。
答案:
第一步:氣相成底膜處理,其目的是增強(qiáng)硅片和光刻膠之間的粘附性。
第二步:旋轉(zhuǎn)涂膠,將硅片被固定在載片臺(tái)上,一定數(shù)...
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【簡(jiǎn)答題】解釋什么是暗場(chǎng)掩模板?
答案:
暗場(chǎng)掩膜版是指一個(gè)掩膜版,它的石英版上大部分被鉻覆蓋,并且不透光。
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