問答題

【簡(jiǎn)答題】在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么?

答案:

一、將掩膜版圖案轉(zhuǎn)移到硅片表面頂層的光刻膠中
二、在后續(xù)工藝中,保護(hù)下面的材料

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