RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

（）又稱“島式加工單元”。

工業(yè)機器人對安裝環(huán)境的要求有（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

工業(yè)機器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計數(shù)器的步驟是（）。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。

工業(yè)以太網(wǎng)交換機與商用以太網(wǎng)交換機的區(qū)別不包括：（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

RF 電源適用的設(shè)備是（）。