檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

套簡滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

伺服工作時(shí)，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

（）又稱“島式加工單元”。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時(shí)會發(fā)生哪些異常（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？