ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

定期應(yīng)該對變頻器進行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

工業(yè)機器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在，一是競爭優(yōu)勢，二是（），三是靈活性。

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

離子濺射泵的特點是什么（）？