RF 電源適用的設備是（）。

步進電機上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險。

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

應用在真空中的各式材料包括（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

定期應該對變頻器進行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

磁性開關氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關，磁性開關用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。