填空題立式爐的工藝腔或爐管是對(duì)硅片加熱的場(chǎng)所,它由垂直的()、()和()組成。
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題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
集成電容主要有幾種結(jié)構(gòu)?
題型:?jiǎn)柎痤}