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【簡答題】簡述什么是硅化物及其作用。
答案:
硅化物是在高溫下難熔金屬(通常是鈦Ti、鈷Co)與硅反應形成的金屬化合物(如TiSi
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、CoSi<...
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【簡答題】簡述銅互連的優(yōu)點及采取的工藝措施。
答案:
優(yōu)點:①電阻率更低;②電流密度高:抗電遷徙能力好于鋁,銅合金中加入Al或Ti進一步增強抗電遷移;③更少的工藝步驟:采用大...
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【簡答題】簡述電遷移現(xiàn)象及解決方法。
答案:
當金屬線流過大密度的電流時,電子和金屬原子的碰撞引起金屬原子的移動導致金屬原子的消耗和堆積。電遷移現(xiàn)象會造成金屬線開路、...
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