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名詞解釋
通道效應
答案：
如果一個電子以正確的角度進入通道，它只需要很少的能量就可以行進很長的距離。
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問答題
【簡答題】簡述離子注入設備的主要組成部分
答案：
氣體系統(tǒng)、電機系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、射線系統(tǒng)、電荷中性化系統(tǒng)、晶圓處理系統(tǒng)
