當(dāng)機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。