對于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會發(fā)生哪些異常（）？

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

弧焊機(jī)器人的焊接設(shè)備主要是由（）組成。