下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會(huì)有哪些好處（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

定期應(yīng)該對(duì)變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

RF 電源適用的設(shè)備是（）。