下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

碳納米管場效應晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

目前制備SOI材料的主流技術有幾種？（）

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

摻雜后退火時間一般在（）。

摻雜后，退火的目的是（）。

進行光刻工藝前的清洗步驟是（）。

進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

硅暴露在空氣中，在室溫下即可產(chǎn)生二氧化硅層，厚度約為（）。

新的平坦化方法有哪幾個？（）