問(wèn)答題刻蝕的目的是什么?
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1.問(wèn)答題列舉下一代光刻技術(shù)中4種正在研發(fā)的光刻技術(shù)。
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3.問(wèn)答題為什么要進(jìn)行顯影后檢查?
4.問(wèn)答題解釋光刻膠選擇比,要求的比例是高還是低?
5.問(wèn)答題使用什么材料制作投影掩膜板,投影掩膜板上形成圖形的不透明材料是什么?
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新的平坦化方法有哪幾個(gè)?()
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目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種?()
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消除鳥(niǎo)嘴效應(yīng)的方法有()。
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