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【簡(jiǎn)答題】列出并解釋硅片表面反射引起的最主要的兩個(gè)問(wèn)題。
答案:
兩種主要的光反射問(wèn)題是反射切口和反射駐波,在刻蝕形成的垂直側(cè)墻表面,反射光到不需要曝光的光刻膠中就會(huì)形成反射切口,光刻中...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】陳述分辨率公式。影響光刻分辨率的三個(gè)參數(shù)?
答案:
R.K*入/NA
1,波長(zhǎng) 入
2,數(shù)值孔徑NA
3,工藝因子K
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是數(shù)值孔徑(NA),陳述它的公式,包括近似公式?
答案:
透鏡收集衍射光的能力被稱做透鏡的數(shù)值孔徑,NA=(n)t透鏡的半徑除以透鏡的焦長(zhǎng)。
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