問答題

【簡答題】陳述分辨率公式。影響光刻分辨率的三個參數？

答案：

R.K*入/NA
1，波長入
2，數值孔徑NA
3，工藝因子K

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【簡答題】什么是數值孔徑（NA），陳述它的公式，包括近似公式？

答案：透鏡收集衍射光的能力被稱做透鏡的數值孔徑，NA=(n)t透鏡的半徑除以透鏡的焦長。

【簡答題】解釋透鏡壓縮是怎么發(fā)生的，它產生了什么問題？

答案：透鏡壓縮是透鏡材料結構上的重新排列導致透鏡材料增密，壓縮發(fā)生在透鏡材料中，包括熔融石英它可以增加激光束穿過區(qū)域的透鏡材料...

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