RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時(shí)，可添加指令（），并在每一條運(yùn)動(dòng)指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實(shí)現(xiàn)。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

使用氦氣檢漏的原因是（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會(huì)有哪些好處（）？

物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱為是信息技術(shù)的一次革命性創(chuàng)新，成為國(guó)內(nèi)外IT 業(yè)界和社會(huì)關(guān)注的焦點(diǎn)之一。它可以分為標(biāo)識(shí)、感知、處理、信息傳送四個(gè)環(huán)節(jié)。其中“感知”對(duì)應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)為（）。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。