步進電機上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機轉速失控或停轉。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

離子濺射泵的特點是什么（）？

UTM-A 系列泵，可調節(jié)轉速后會有哪些好處（）？

定期應該對變頻器進行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

RF 電源適用的設備是（）。

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會發(fā)生（）的危險。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關于DC 電源性能重要性內容下列正確的選項是（）。