問答題

【簡答題】什么是溝道效應？

答案： 對晶體靶進行離子注入時，當離子注入的方向與靶晶體的某個晶向平行時，其運動軌跡將不再是無規(guī)則的，而是將沿溝道運動并且很少受...
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問答題

【簡答題】如何降低溝道效應？
答案： 減少溝道效應的措施：
（1）對大的離子，沿溝道軸向（110）偏離7－10o；
（2）用Si，Ge，F(xiàn)...
問答題

【簡答題】與擴散源相比，離子注入有哪些優(yōu)點？
答案： 1.可在較低的溫度下，將各種雜質(zhì)摻入到不同的半導體中；
2.能夠精確控制晶圓片內(nèi)雜質(zhì)的濃度分布和注入的深度；<...
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