敘述測(cè)試晶體管的方法？

離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

以下是離子注入過程中的主要參數(shù)的是（）

說明功能檢測(cè)工裝的制作原理？

電子束蒸發(fā)中有一個(gè)特殊的部件是（）

最常用的砷化橡的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

回態(tài)源擴(kuò)散的雜質(zhì)源有（）

金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）

刻蝕氮化硅薄膜時(shí)，可以用加熱的磷酸進(jìn)行刻蝕，此時(shí)的溫度一般設(shè)置在（）

傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）