名詞解釋

外延

答案： 一種在單晶或多晶襯底上生長一層單晶或多晶薄膜的技術(shù)。
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恒定源擴散
答案： 在擴散過程中，硅片表面的雜質(zhì)濃度Ns始終保持不變。例如，基區(qū)、發(fā)射區(qū)的預(yù)淀積，箱法擴散。
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水汽氧氧化
答案： 氧化（氧氣）中攜帶一定量的水氣，氧化特性介于干氧與濕氧之間。
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