物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱為是信息技術(shù)的一次革命性創(chuàng)新，成為國內(nèi)外IT 業(yè)界和社會關(guān)注的焦點之一。它可以分為標識、感知、處理、信息傳送四個環(huán)節(jié)。其中“感知”對應的關(guān)鍵技術(shù)為（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

使用氦氣檢漏的原因是（）。

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

下列各種設備型號中，屬于焊接變位機的是（）。

從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復運動。

下列可適用于sputter 設備的電源都有（）。