下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時(shí)，可添加指令（），并在每一條運(yùn)動(dòng)指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)。

下列各項(xiàng)，不屬于工業(yè)中常用的機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)上位機(jī)的是（）。

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來(lái)檢測(cè)氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。