單項選擇題在熱擴(kuò)散工藝中的預(yù)淀積步驟中,硼在950~1100℃的條件下,擴(kuò)散時間大約()為宜。

A.4~6h
B.50min~2h
C.10~40min
D.5~10min


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2.單項選擇題在熱擴(kuò)散工藝中的預(yù)淀積步驟中,磷的擴(kuò)散溫度為()。

A.600~750℃
B.900~1050℃
C.1100~1250℃
D.950~1100℃

3.單項選擇題在熱擴(kuò)散工藝中的預(yù)淀積步驟中,砷和銻的擴(kuò)散溫度為()。

A.1050~1200℃
B.900~1050℃
C.1100~1250℃
D.1200~1350℃

4.單項選擇題擴(kuò)散爐中的管道一般都是用()制作。

A.陶瓷
B.玻璃
C.石英
D.金屬

5.多項選擇題下列可作為磷擴(kuò)散源的是()。

A.磷鈣玻璃
B.三氯氧磷
C.三氯化磷
D.磷烷
E.摻磷二氧化硅乳膠源